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vd85-220101
Für den Feinvakuumbereich wird ein interner Piranisensor verwendet, der die
Wärmeleitfähigkeit von Gasen zur Vakuummessung nutzt. Eine Wendel wird da-
bei in einer Messbrücke auf konstante Temperatur erwärmt. Die notwendige Brü-
ckenspannung ist ein Maß für den Absolutdruck.
Stabilisierungszeit
Die Messwertanzeige erfolgt direkt nach Einschalten des Geräts. Zur Aus-nut-
zung der vollen Genauigkeit im Feinvakuum kann es –z.B. nach extremen
Drucksprüngen- angebracht sein, eine Stabilisierungszeit von 2min zu beachten.
Messgenauigkeit
Durch den Einsatz zweier physikalischer Messverfahren ist eine hohe Auflösung
über den gesamten Messbereich nutzbar.
Das Gerät ist ab Werk abgeglichen. Verschmutzung, Alterung oder extreme kli-
matische Bedingungen können ein Nachjustieren erforderlich machen.
Die Messgenauigkeit kann daher unterhalb von 10-2 mbar reduziert sein.
Gasartabhängigkeit
Das Mess-Signal ist im Druckbereich unterhalb 15 mbar gasartabhängig. Das
Gerät ist auf N2bzw. trockene Luft abgeglichen, für He und CO sind die Abwei-
chungen unterhalb 0,5mbar zu vernachlässigen. Für andere Gase kann ein Kor-
rekturfaktor eingegeben werden, welcher im Bereich unter 15 mbar in die
Messwertanzeige eingreift und unterhalb 0,5 mbar eine korrekte Druckanzeige
erzeugt (s. Abschnitt 5.5).
Bestimmungsgemäße Verwendung
Das VD85 dient ausschließlich der Totaldruckmessung in gasförmigen Medien
im Bereich 1200 - 5,0x10-4 mbar. Es darf nur an geeignete und hierfür vorgese-
hene Komponenten angeschlossen werden.
Nicht bestimmungsgemäße Verwendung
Als nicht bestimmungsgemäß gilt der Einsatz zu Zwecken, die von oben genann-
ten abweichen, insbesondere:
-der Anschluss an Geräte oder Komponenten, die laut ihrer Betriebs-anlei-
tung hierfür nicht vorgesehen sind
-der Anschluss an Geräte mit berührbaren, spannungsführenden Teilen.
Bei nicht bestimmungsgemäßem Einsatz erlischt jeglicher Haftungs- und Ge-
währleistungsanspruch
Die Verantwortung im Zusammenhang mit den verwendeten Prozessmedien
liegt beim Betreiber.
Das Gerät ist nicht zum Einsatz in Verbindung mit Korrosivgas
vorgesehen. Aggressive Medien wie Halogenide, Kohlenstoff-
oder Sauerstoff-Plasmen können die Lebensdauer des Sen-
sors reduzieren!
Ölnebel, Staub und Kondensat beeinträchtigen die Funktion
des Sensors und können zum Ausfall führen!
